ОПТИЧЕСКАЯ СХЕМА УЛЬТРАПРЕЦИЗИОННОГО ГОЛОГРАФИЧЕСКОГО ДАТЧИКА ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ С БЛОКОМ УПРАВЛЯЕМЫХ ЗЕРКАЛ

Полезная модель относится к области прецизионных датчиков линейных перемещений с использованием оптических средств измерения посредством контроля параметров пучков световых лучей, дифрагирующих на различных комбинациях дифракционных решеток, работающих по интерференционному принципу и окончательно детектируемых фотоприемниками. Технический результат - повышение точности датчика за счет применения дополнительного блока зеркал, установленного после коллимирующей системы и включающего в себя набор зеркал, который позволяет получить набор оптических сигналов, сдвинутых по фазе относительно другу друга (за счет независимого управляемого поворота каждого из зеркал) и распространяющихся в одном направлении. Результат достигается тем, что оптическая схема ультрапрецизионного голографического датчика линейных перемещений содержит неперемещаемый узел оптической головки.