Оптическая схема прецизионного интерференционного угломера

16.05.2019

Полезная модель относится к измерительной технике и может применяться для точного бесконтактного контроля изменений угловых положений зеркал в лабораторных и производственных условиях оптического приборостроения. Технический результат - измерение величин угловых перемещений контролируемого оптического объекта (зеркала) предлагаемой оптической схемой с малой погрешностью порядка 10 мкрад (±0,3 угл.сек.). Разработана оптическая схема прецизионного интерференционного угломера.

ГРНТИ

29.31.33 Физические основы голографии

29.31.29 Формирование оптического изображения. Оптические приборы и оптические методы измерений

Ключевые слова

ИНКРЕМЕНТНЫЙ МЕТОД

ПРЕЦИЗИОННЫЙ ДАТЧИК УГЛОВОГО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ

ЛАЗЕРНАЯ ЛИТОГРАФИЯ

ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ УГЛОМЕР

Детали

НИОКТР

№ АААА-А17-117032010080-9

Тип РИД

Полезная модель

Сферы применения

Технологическое и измерительное оборудование в полупроводниковом производстве, установки автоматического монтажа в микроэлектронике, ультрапрецизионное, в т.ч. и металлорежущее станочное оборудование, компараторы, измерительные машины и микроскопы, прецизионная контрольно-измерительная техника, угловые приводы, медицинская промышленность, геодезические приборы.

Ожидается

Исполнитель

Исполнители

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана" (национальный исследовательский университет)"

Заказчик

Министерство образования и науки Российской Федерации

Похожие документы

Юстировочное устройство для оптических элементов

0.889

РИД

Способ определения углов поворота объекта и двухкоординатный автоколлиматор для его осуществления

0.888

Промышленная инновация

Оптическая схема ультрапрецизионного голографического датчика линейных перемещений с управляемым фазовым модулятором

0.888

РИД