Топология магниторезистивного преобразователя тока

20.08.2019

Магниторезистивный преобразователь тока предназначен для измерения тока по магнитному полю, создаваемому при протекании электрического тока через проводник. Датчик работает на анизотропном магниторезистивном эффекте (АМР-эффект), который заключается в изменении сопротивления магнитного материала под воздействием магнитного поля. В предлагаемой топологии оптимизирована ширина полоски магнитного слоя и шунтирующих полосок алюминия для достижения максимальной чувствительности. Кроме того, добавлен дополнительный слой окон между слоями алюминия и магнитного слоя для более точного совмещения и уменьшения влияния технологических подтравов в процессе изготовления. Так же, в топологии введены подстроечные элементы на каждое плечо моста для компенсации неоднородности напыления пленок.

ГРНТИ

59.29.71 Узлы, блоки, элементы, детали приборов для измерения электрических и магнитных величин

59.14.19 Проектирование и конструирование электрических, электромагнитных и электромеханических измерительных приборов

Ключевые слова

ДАТЧИК ТОКА

АМР-СЕНСОР

ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ МАГНИТНОГО ПОЛЯ

МЭМС-ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ТОКА

Детали

НИОКТР

№ АААА-А17-117100370027-9

Тип РИД

Топология интегральных микросхем

Сферы применения

Разработанная топология позволит обеспечить создание МЭМС-преобразователя электрического тока для интеллектуальных систем диагностики электросетевого оборудования.

Ожидается

Исполнитель

Исполнители

Общество с ограниченной ответственностью "Микрофотоника"

Заказчик

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"

Похожие документы

Разработка МЭМС-преобразователя электрического тока интеллектуальных систем диагностики электросетевого оборудования

0.944

НИОКТР

Топология магниторезистивного преобразователя на основе наноструктур с магнитострикционным эффектом

0.927