Способ получения многослойных износостойких алмазоподобных покрытий

Настоящее изобретение относится к области получения сверхтвердых износостойких покрытий в едином вакуумном цикле с заранее заданными свойствами, конкретно к технологии формирования многослойного углерод-металлического покрытия, и может быть использовано в тяжелой и легкой промышленности, транспорте для повышения эксплуатационных характеристик изделий и увеличения их ресурса работы, деталей узлов трения, деталей точного машиностроения.Техническим результатом изобретения является разработка технологии получения сверхтвердого углерод-металлического покрытия с заданными свойствами, а именно, улучшения качества алмазоподобных пленок за счет изменения их структуры и состава, при этом нижний слой должен обладать высокой адгезией с материалом подложки, средний - высокой твердостью и повышенной износостойкостью, верхний хорошей теплопроводностью и теплостойкостью с низким коэффициентом трения.