РИД
№ АААА-Г20-620112590043-3

Часть программы для управления процессом молекулярного наслаивания нанопокрытий заданной толщины и состава

25.11.2020

Часть программы предназначена для управления процессом молекулярного наслаивания нанопокрытий заданной толщины. Входными данными являются уставки времени, порядка и количества циклов напускаемых прекурсоров и продувочных газов. Выходными данными являются сигналы, подаваемые на клапаны и регуляторы расхода газов с заданной частотой, периодичностью, порядком и временем. Алгоритм обеспечивает управление процессом молекулярного наслаивания нанопокрытий заданой толщины и состава.Тип ЭВМ: Программируемый логический контроллер.Вид и версия среды программирования: CoDeSys 3.5.Язык программирования: CFCОбъем программы для ЭВМ: 1363 Кб
ГРНТИ
61.31.57 Неорганические сорбенты
31.15.35 Поверхностные явления. Адсорбция. Хроматография. Ионный обмен
31.15.19 Химия твердого тела
Ключевые слова
МОЛЕКУЛЯРНОЕ НАСЛАИВАНИЕ
АВТОМАТИЗИРОВАННЫЕ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ УСТАНОВКИ
ПОВЕРХНОСТЬ
МОДИФИЦИРОВАНИЕ
Детали

Тип РИД
Программа для ЭВМ
Сферы применения
Программа управления процессом нанесения нанопокрытий заданной толщины на автоматизированных установках молекулярного наслаивания проточного и проточно-вакуумного типов. Может использоваться для управления лабораторными, полупромышленными и промышленными установками, формирующими покрытия заданной толщины по технологии молекулярного наслаивания.
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный технологический институт (технический университет)"
Заказчик
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Похожие документы
Программа автоматизации импульсного лазерного напыления тонких плёнок
0.888
РИД
Программный комплекс для автоматизации процессов атомно-слоевого осаждения
0.888
РИД
Программа управления установкой для нанесения многослойных наноструктурированных покрытий вакуумным магнетронным распылением.
0.887
РИД
Программа для управления установкой атомно-слоевого осаждения.
0.886
РИД
Программа для управления стендом для исследования газовых потоков в установке атомно-слоевого осаждения.
0.884
РИД
Программный модуль управления вакуумным оборудованием лабораторной установки аддитивного электронно-лучевого изготовления изделий
0.879
РИД
Программа управления автоматической системой для напыления электрокатализаторов на поверхность электродов или полимерных мембран электрохимических устройств
0.877
РИД
Программное средство подбора параметров нанесения многокомпонентных нанокомпозитных материалов
0.876
РИД
Программа управления автоматической системой для напыления электрокатализаторов на поверхность электродов или полимерных мембран электрохимических устройств
0.875
РИД
Система управления комплекса селективного нанесения защитного покрытия на печатные узлы
0.874
РИД