СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ МАГНИТНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ФЕРРОМАГНИТНЫХ ПЛЕНОК И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

Способ измерения магнитных характеристик ферромагнитных пленок и устройство для его осуществления предназначены для проведения неразрушающего контроля качества и однородности тонких магнитных пленок. Способ заключается в измерении производной от величины поглощения электромагнитной энергии СВЧ-поля образцом, который помещается в скрещенные высокочастотное магнитное поле и постоянное магнитное поле, причем параллельно высокочастотному магнитному полю формируется модулирующее магнитное поле. Высокочастотное магнитное поле создается СВЧ-резонатором, а две схемы синхронного детектирования используются для измерения переменной составляющей напряжения на резонаторе с частотой модулирующего поля и с его удвоенной частотой. Измерения проводят путем изменения величины постоянного магнитного поля от нуля до величины большей поля анизотропии образца по сигналам с выходов синхронных детекторов, максимум зависимости сигнала со второго синхронного детектора наблюдается при постоянном магнитном поле, равном полю анизотропии. При фиксированном значении постоянного магнитного поля изменяют угол между направлением высокочастотного магнитного поля возбуждения и осью анизотропии образца, измеряют угловую зависимость с выхода первого синхронного детектора. Центральное значение между экстремумами полученной зависимости соответствует направлению поля анизотропии. Устройство для измерения магнитных характеристик тонких пленок содержит магнитные системы, формирующие в плоскости исследуемого образца постоянное и модулирующее магнитные поля. Высокочастотное магнитное поле формируется чувствительным элементом, включающим СВЧ-резонатор, подключенный к СВЧ-генератору, и амплитудный детектор, причем индуктивная часть СВЧ-резонатора выполнена в виде отрезка проводника, расположенного над исследуемым образцом. Перемещая чувствительный элемент над исследуемым образцом осуществляют измерение распределений магнитных характеристик по площади.