РИД
№ 622101800032-1

Способ изготовления тонкопленочного защитного покрытия на поверхности термоэлектрических материалов

18.10.2022

Изобретение относится к термоэлектрическому приборостроению и может быть использовано для изготовления защитных покрытий при производстве термоэлементов. Технический результат достигается подготовкой поверхности термоэлектрического материала, на которую наносится защитное покрытие.
ГРНТИ
47.13.11 Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
53.41.39 Получение полупроводниковых твердых растворов
47.09.29 Полупроводниковые материалы
Ключевые слова
защитное покрытие
сублимация
адгезионная прочность
подготовка поверхности
Детали

Тип РИД
Изобретение
Сферы применения
Изобретение относится к термоэлектрическому приборостроению и может быть использовано для изготовления защитных покрытий при производстве термоэлементов.
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"
Заказчик
Российский научный фонд