РИД
№ 622122000046-1

"Magnetron_sputtering_checkout"

20.12.2022

Программа предназначена для автоматической системы контроля роста материала, синтезируемого методом магнетронного напыления. Позволяет обрабатывать информацию (цикл напыления, температуры подложки, величины подаваемого тока, значение давления в барокамере) о состоянии подложки и проведении процесса напыления, и принимать решения об изменениях параметров, основываясь на полученных данных Функциональные возможности программы: программа позволяет с заданным интервалом считывать информацию из базы данных временных рядов (InfluxDB), учитывать заданный пользователем временной диапазон, в котором осуществляется напыление материала. Принятые решения отправляются в блок управления магнетроном и записываются в базу данных временных рядов.
ГРНТИ
47.09.48 Наноматериалы для электроники
50.43.15 Системы автоматического управления, системы автоматического регулирования и системы автоматического контроля для непрерывных процессов
Ключевые слова
магнетронное напыление
наноматериалы
Детали

НИОКТР
Тип РИД
Программа для ЭВМ
Сферы применения
Программа может использоваться в научных и научно-образовательных учреждениях как часть комплексной системы анализа и поддержания процесса напыления материала.
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ПЕТРА ВЕЛИКОГО"
Заказчик
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ