РИД
№ 622122000046-1"Magnetron_sputtering_checkout"
20.12.2022
Программа предназначена для автоматической системы контроля роста материала, синтезируемого методом магнетронного напыления. Позволяет обрабатывать информацию (цикл напыления, температуры подложки, величины подаваемого тока, значение давления в барокамере) о состоянии подложки и проведении процесса напыления, и принимать решения об изменениях параметров, основываясь на полученных данных
Функциональные возможности программы: программа позволяет с заданным интервалом считывать информацию из базы данных временных рядов (InfluxDB), учитывать заданный пользователем временной диапазон, в котором осуществляется напыление материала. Принятые решения отправляются в блок управления магнетроном и записываются в базу данных временных рядов.
ГРНТИ
47.09.48 Наноматериалы для электроники
50.43.15 Системы автоматического управления, системы автоматического регулирования и системы автоматического контроля для непрерывных процессов
Ключевые слова
магнетронное напыление
наноматериалы
Детали
НИОКТР
Тип РИД
Программа для ЭВМ
Сферы применения
Программа может использоваться в научных и научно-образовательных учреждениях как часть комплексной системы анализа и поддержания процесса напыления материала.
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ПЕТРА ВЕЛИКОГО"
Заказчик
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Похожие документы
Программа управления установкой для нанесения многослойных наноструктурированных покрытий вакуумным магнетронным распылением.
0.872
РИД
Magnet-monitor
0.866
РИД
Программа автоматического управления технологическим процессом магнетронного распыления
0.861
РИД
Магнитотранспортные измерения: автоматизация измерений магнитотранспортных свойств 1D, 2D наноструктур
0.853
РИД
Программа для автоматизации экспериментальной установки по исследованию материалов методом накачки-зондирования
0.849
РИД
Synchrotron Radiation Monitor (SRM)
0.845
РИД
МОДУЛЬТЕХНОЛОГ (контроль давления в модулях ионно-плазменной установки)
0.844
РИД
МИПРОМ
0.843
РИД
Программа для системы управления магнетронной установкой по напылению тонких плёнок
0.843
РИД
МИПРОМ 2.1
0.840
РИД