Программа автоматического управления технологическим процессом магнетронного распыления

Получение тонких многослойных пленок методом магнетронного распыления представляет собой сложный и длительный процесс. В процессе получения многослойных структур часто возникает необходимость в многочисленных повторяющихся операциях, что требует значительного количества времени и безошибочности оператора. Автоматизация этого процесса становится необходимостью в силу получение повторяемости структур и повышения эффективности. Программа позволяет задать пользовательский алгоритм автоматической работы установки магнетронного распыления. Программа через промышленный протокол связи Modbus RTU связывается с устройствами, входящими в состав комплекса магнетронной установки, и корректирует их параметры на основании заданного алгоритма. После выполнения программой автоматического технологического процесса получаются тонкие многослойных структуры, отличающиеся высокой повторяемостью.