РИД
№ 623013000169-7Программа аппроксимации слоя/слоёв, состоящих из нескольких материалов различного типа смешивания и расчёта градиента данного типа слоёв в моделировании многослойных оптических систем
30.01.2023
Программа выполняет аппроксимацию слоев с типами смешивания по Бругемману, Максвелла-Гартнеру, Лоренц Лоренцу. При выборе 2 материалов, включенных в слой, пользователь может задать градиентное распределение материалов в слое. Доступны три типа градиентного распределения материалов: линейный, параболический, по Гауссу. Программа вычисляет комплексные показатели преломления для эффективной среды с указанными типами смешивания для входящих в слои материалов. Включение слоев данного типа в модели многослойных оптических систем позволяет значительно расширять возможности анализа результатов эллипсометрических измерений.
ГРНТИ
50.41.01 Общие вопросы
Ключевые слова
тонкие пленки
расчет оптических параметров
эллипсометрия
модель эффективной среды
Детали
НИОКТР
Тип РИД
Программа для ЭВМ
Сферы применения
Эллипсометрический контроль ростовых процессов тонкопленочных структур, таких как ГЭС КРТ и др.
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ ИМ. А.В. РЖАНОВА СИБИРСКОГО ОТДЕЛЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
Заказчик
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Похожие документы
Программа для моделирования спектров пропускания и отражения слоистых структур на толстой подложке с учётом интерференции в слоях
0.845
РИД
Программа расчета коэффициентов отражения, прохождения, поглощения от структуры с N количеством слоев
0.844
РИД
ПРОГРАММА РАСЧЕТА ДИСПЕРСИОННЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ДВУХСЛОЙНОГО УПРУГОГО ПОЛУПРОСТРАНСТВА С ПОКРЫТИЕМ
0.838
РИД
Программа расчёта поляризационных свойств слоистых отражающих структур и моделирования спектров эллипсометрии
0.837
РИД
Программа для определения полного набора эффективных свойств пьезоэлектрического композита с ячейкой периодичности Гибсона-Эшби при варьируемой пористости и учете неоднородности поля поляризации по направлению и по модулю
0.835
РИД
Программа расчёта поляризуемости, сечений рассеяния и поглощения света двух и трёхслойными неконфокальными сфероидами в сфероидальном базисе в случае ТЕ моды (при перпендикулярной ориентации падающего излучения)
0.834
РИД
Расчет коэффициентов отражения, прохождения и поглощения от материала, расположенного в свободном пространстве с возможностью варьирования до 5 слоев
0.833
РИД
Послойное вычисление показателя преломления оптических предформ при боковом сканировании.
0.833
РИД
ПРОГРАММА РАСЧЕТА ДИСПЕРСИОННЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПАКЕТА ИЗ ДВУХ УПРУГИХ СЛОЕВ С ПОКРЫТИЕМ
0.833
РИД
Программа расчёта поляризуемости, сечений рассеяния и поглощения света двух и трёхслойными конфокальными сфероидами
0.832
РИД