Способ получения тонких плёнок на основе оксида индия-олова методом вращения подложки

Реферат к заявке: «Способ получения тонких плёнок на основе оксида индия-олова методом вращения подложки» Изобретение относится к способу получения плёнок оксида индия-олова на поверхности подложек различной природы методом вращения подложки с использованием коллоидного раствора на основе оксидных наночастиц. Может быть использовано в электронике, приборостроении, радиотехнической промышленности, газовой сенсорике, оптике, энергетике и других областях науки и техники при формировании тонких однородных плёнок на основе оксида индия-олова. Предложен способ получения тонких плёнок на основе оксида индия-олова, заключающийся в том, что готовят раствор нитрата индия (In(NO3)3·4,5H2O) и хлорида олова (SnCl2·2H2O) в дистиллированной воде с общей концентрацией катионов металлов 0,001-0,1 моль/л, при этом исходят из мольного содержания диоксида олова в продукте в диапазоне 5-15 %, далее в систему при перемешивании добавляют водный раствор гидрата аммиака до достижения системой pH = 7, после чего осадок диспергируют в воде с помощью ультразвуковой ванны. Далее проводят гидротермальную обработку в автоклаве ёмкостью 25 мл при нагреве до 180°С с выдержкой в течение 2 часов при заданной температуре. Далее осадок отделяют и диспергируют в этиленгликоле, выдерживая массовую долю твердой фазы в получаемых функциональных чернилах на уровне 5%. Нанесение плёнки функциональных чернил осуществляют методом вращения подложки при скорости вращения 500-3000 об/мин в течение 5-300 с при дозировании 60-150 мкл чернил. После этого проводят термическую обработку пленки при 300-600°С в течение 0,5-24 часов. Изобретение за счёт отсутствия необходимости использования дорогостоящих и энергозатратных установок для нанесения материала обеспечивает упрощение способа получения тонких плёнок на основе оксида индия-олова и, как следствие, повышение его экономичности. 1 н.з.п. ф-лы, 3 илл., 10 пр.