Способ получения толстых плёнок на основе оксида индия-олова методом микроэкструзионной печати

Изобретение относится к способу получения плёнок на основе оксида индия-олова методом микроэкструзионной печати на поверхности подложек различной природы при термическом разложении пасты на основе оксидных частиц в органическом растворителе. Может быть использовано в электронике, приборостроении, радиотехнической промышленности, газовой сенсорике, оптике, энергетике и других областях науки и техники при формировании структур на основе оксида индия-олова, в том числе сложной геометрии. Предложен способ получения токопроводящих покрытий на основе оксида индия-олова, заключающийся в смешении растворов нитрата индия и хлорида олова в дистиллированной воде с общей концентрацией катионов металлов 0,0001-0,1 моль/л, при этом мольное содержание олова по отношению к индию составляет 5-15 %, далее в систему добавляется водный раствор гидрата аммиака до достижения системой pH = 7, после чего с помощью центрифугирования отделяется и промывается осадок, который высушивается в течение 5 и более часов при температуре 25-70°С, а также прокаливается при 400°С в течение 5 часов, после чего порошок перетирается в ступке с добавлением раствора этиленцеллюлозы в α-терпинеоле, при этом массовая доля твердой фазы в получаемой пасте 20-35%, нанесение пасты осуществляют методом микроэкструзионной печати с использованием в качестве дозатора иглы с внутренним диаметром 100-300 мкм, скоростью его перемещения 50-500 мм/мин, шагом 200-600 мкм и длительность импульса при дозировании пасты 0.1-1 с, сушку полученного покрытия проводят при 25-50°С в течение 5-12 часов на воздухе, после чего проводят термическую обработку пленки при 300-600°С в течение 0.5-24 часов. Изобретение обеспечивает упрощение способа получения покрытий на основе оксида индия-олова и, как следствие, повышение его экономичности; позволяет воспроизводимо и адресно формировать структуры различной геометрии, что расширяет области применения плёнок на основе оксида индия-олова; в значительной степени автоматизирует и повышает скорость процесса формирования плёнок на основе оксида индия-олова.