РИД
№ 624012705806-1

Программа для анализа в реальном времени данных спектральной рефлектометрии с использованием моделей машинного обучения для решения обратной задачи (SpRA Tool)

27.01.2024

Программа позволяет обрабатывать данные измерений, полученные методом спектральной рефлектометрии образцов тонких пленок металлов и диэлектриков, вычислять значения оптических характеристик (коэффициент преломления n и коэффициент поглощения k, толщина плёнки d и оптическая температура T) в реальном времени. Применение машинного обучения, написанного с использованием библиотеки TensorFlow 2, позволяет вычислять характеристики в 1000 раз быстрее, по сравнению с ньютоновскими методами и градиентным спуском. Программа написана на языке Python, имеет графический пользовательский интерфейс ввода данных, вывод результатов анализа может быть загружен в формате .csv. Тип ЭВМ: 64bit; ОС: Windows 10 и выше.
ГРНТИ
47.13.07 Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
Ключевые слова
Рефлектометрия
спектральные измерения
коэффициент отражения
Детали

НИОКТР
Тип РИД
Программа для ЭВМ
Сферы применения
Применение для мониторинга плазменных процессов травления и осаждения диэлектриков, в том числе нанопористых диэлектриков систем металлизации ИС
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт имени К.А.Валиева Российской академии наук
Заказчик
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Похожие документы
Программа для измерения оптических характеристик плазмонных наноструктур на полупроводниковых поверхностях
0.877
РИД
Программное обеспечение для определения спектральной фазы сверхкоротких импульсов
0.868
РИД
Программа для моделирования спектров инфракрасного поглощения и отражения твердотельными плёнками в рамках модели Друде-Лоренца без учёта интерференции
0.862
РИД
Программа для измерения динамики электро- и магнитооптического отклика материалов
0.861
РИД
Система автоматизированного измерения диэлектрической проницаемости и тангенса угла потерь материалов с использованием открытого резонатора Фабри-Перо
0.859
РИД
ПРОГРАММНОЕ СРЕДСТВО ДЛЯ РАСЧЕТА ТОЛЩИНЫ ОТСЕЧКИ ПЛАНАРНОГО ИНТЕГРАЛЬНО-ОПТИЧЕСКОГО ВОЛНОВОДА МЕТОДОМ b/V ДИАГРАММ
0.859
РИД
Программа обработки и анализа спектральных данных комбинационного рассеяния света в режиме реального времени
0.858
РИД
Программа для измерения частотных характеристик оптического отклика двумерных полупроводниковых материалов
0.856
РИД
Программный комплекс для автоматизации измерения оптических характеристик полупроводниковых ячеек
0.856
РИД
Программа обработки спектра коэффициента отражения интерференционного зеркала с ошибками по толщине для поиска неизвестного показателя преломления слоя из нового тонкопленочного материала
0.855
РИД