Фундаментальные и прикладные исследования технологий формирования функциональных диэлектриков в микроструктурах интегральных схем

В рамках темы планируется решение ряда исследовательских задач направленных на азработку технологий формирования и изготовление опытных образцов интегральных планарных конденсаторов высокой емкости с высокими пробивными напряжениями и исследования возможностей внедрения в промышленное производство. Будут исследованы подходы к формированию тренчевых конденсаторов высокой емкости (емкость на единицу поверхности подложки ~100 раз выше планарных) с высокими пробивными напряжениями и исследования возможностей внедрения в промышленное производство. Кроме того, будут проведены исследования технологий формирования высокотемпературных интегральных конденсаторов.