Способ согласования высокочастотного источника плазмы с источником питания (Патент RU 2812968)

Изобретение относится к области плазменной техники, в частности, к мощным плазменным высокочастотным ионным источникам и может использоваться в инжекторах атомарных пучков. Техническим результатом предлагаемого изобретения является эффективная передача ВЧ мощности в плазму. Поставленная задача реализуется согласованием ВЧ источника питания с нагрузкой, которая представляет собой антенный контур. ВЧ источник питания подключают к антенному контуру, который разделен на две или три части. При этом антенный контур индуктивно связан с плазменной нагрузкой. При таком способе подключения индуктивность между точками подключения и полная индуктивность колебательного контура имеют такое отношение, чтобы активное сопротивление колебательного контура совпадало с выходным сопротивлением ВЧ источника.