Программа моделирования рассеяния электронного пучка в полимерных резистах с учетом генерации вторичных электронов

Программа предназначена промоделировать рассеяние электронного пучка в полимерных резистах методом Монте-Карло и рассчитать пространственное распределение поглощенной дозы, энергетический спектр вторичных электронов, выход вторичных электронов и другие величины. Сечения упругого рассеяния рассчитываются из амплитуд рассеяния, получаемых путем решения уравнения Дирака квантовой задачи рассеяния. Сечения неупругих процессов рассчитываются на основе оптической функции потерь энергии с использованием квадратичного закона дисперсии. Вторичные электроны рассматриваются как продукты неупругого электрон-электронного рассеяния, и их траектории моделируются в общем цикле с моделированием траекторий первичных электронов.