Конструкция фиксирующей пружины для ленты подложки при осаждении буферного и сверхпроводящего слоев на установке импульсного лазерного осаждения

НОУ ХАУ относится к технологии вакуумного напыления методом импульсного лазерного осаждения (PLD). Предлагается фиксирующая пружина для предотвращения ослабления крепления ленты подложки, которое возникает за счет температурного расширения при технологическом нагреве ленты подложки от 20 до 850°С, рабочая среда остаточный форвакуум или кислород с парциальным давлением до 150 Па. НОУ ХАУ может быть применено в технологических процессах, где есть потребность в криволинейных пружинах малых усилий с изменяющимся в сторону увеличения радиусом кривизны для диапазона температур от 20 до 850°С. Ноу-хау используется в технологическом процессе производства ленточных сверхпроводников второго поколения (ВТСП-2) при нанесении на ленту подложку текстурированного буферного оксидного слоя СеО2 и сверхпроводящего слоя семейства RЕBCO. Ноу-хау позволяет снизить затраты за счет уменьшения технологического отхода, возникающего при производстве ленточных сверхпроводников, благодаря применению компенсирующей фиксирующей пружины, которая предотвращает сдвиг и перехлест витков ленты подложки. Предлагаемое изменение в штатной технологии крепления ленты подложки с использованием фиксирующей пружины является актуальным к проблеме снижения конечной стоимости производства ВТСП-2 проводов поскольку, уменьшает технологический отход на операции вакуумного напыления методом импульсного лазерного осаждения (PLD).