Диссертация
№ АААА-В18-418100490009-4Разработка методики проектирования интегральных микромеханических сенсоров линейных ускорений с тремя осями чувствительности
04.10.2018
Объект исследования: чувствительные элементы в микромеханических устройствах и конструкции микромеханических сенсоров линейных ускорений. Цель: разработка методики проектирования, конструкций, технологических маршрутов изготовления и математических моделей многоосевых микромеханических сенсоров линейных ускорений. Разработана методика проектирования микромеханических сенсоров линейных ускорений на основе библиотеки микрофрагментов, регистрирующих линейные ускорения по трем осям чувствительности одним сенсорным элементом. Предложены критерии расчета коэффициентов жесткости упругих подвесов чувствительного элемента, математическая модель чувствительного элемента сенсора. На основе предложенной методики проектирования микромеханических сенсоров разработаны конструкции сенсоров линейных ускорений.
ГРНТИ
47.14.07 Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
Ключевые слова
МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА
МИКРОСИСТЕМА
СЕНСОР
ЛИНЕЙНЫЕ УСКОРЕНИЯ
СОБСТВЕННАЯ ЧАСТОТА
КОНСТРУКЦИЯ
МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ
Детали
Автор
Ежова Ольга Александровна
Вид
Кандидатская
Целевое степень
Кандидат технических наук
Дата защиты
30.08.2018
Организация защиты
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет"
Организация автора
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет"
Похожие документы
Разработка конструкции экспериментальных образцов многоосевых интегральных сенсоров линейных ускорений и угловых скоростей. Моделирование конструкции экспериментальных образцов многоосевых интегральных сенсоров. Анализ результатов моделирования конструкции экспериментальных образцов.
0.931
ИКРБС
Отчет о научно-исследовательской работе "Разработка и исследование методов построения многоосевых функционально-интегрированных сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений" по теме: "Теоретические исследования многоосевых функционально-интегрированных микро- и наномеханичсеких сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений"
0.923
ИКРБС
Разработка технологических основ и маршрутов создания многоосевых функционально-интегрированных микро- и наномеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений. Разработка и исследование методов построения многоосевых функционально-интегрированных сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений. Этап 3
0.922
ИКРБС
Разработка и исследования экспериментальных образцов микромеханических многоосевых сенсоров линейных ускорений и угловых скоростей, используемых в инерциальных навигационных системах
0.920
ИКРБС
Разработка микро- и наномеханических многоосевых сенсоров линейных ускорений и угловых скоростей, используемых в инерциальных навигационных системах
0.919
ИКРБС
Конструктивно-технологические основы создания инерциальных микроэлектромеханических систем
0.917
Диссертация
Разработка конструкторско-технологических способов создания микроэлектромеханического датчика угла наклона
0.916
Диссертация
Разработка конструкторской документации и изготовление экспериментальных образцов многокомпонентных интегрированных микрогироскопа и микроакселерометра
0.914
ИКРБС
Разработка технологии изготовления интегрированных сенсоров линейного ускорения частотного типа (ИСЛУ). Моделирование конструкции ИСЛУ.
0.911
НИОКТР
Разработка и исследование многоосевых микромеханических
сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений, отличающихся более высокими функциональными
возможностями, заключающимися в возможности регистрации угловых скоростей и линейных ускорений.
0.911
НИОКТР