Диссертация
№ 422121400087-5Физические основы создания активных областей вертикально-излучающих быстродействующих лазеров телекоммуникационного диапазона длин волн 1300-1550 нм методом молекулярно-пучковой эпитаксии
14.12.2022
В диссертационной работе, целью которой являлось исследование физических основ создания и принципов конструирования гетероструктур активных областей вертикально-излучающих лазеров (ВИЛ) телекоммуникационного диапазона 1300-1550 нм, были поставлены и решены задачи по исследованию физических основ получения методом молекулярно-пучковой эпитаксии гетероструктур активных областей ВИЛ с повышенным оптическим усилением и с захороненным туннельным переходом, обеспечивающим токовое и оптическое ограничение, и задачи по исследованию изготовленных активных областей и кристаллов на их основе. Проведенные расчеты и моделирования обосновывают использование оригинальной конструкции активных областей на основе сверхрешетки InGaAs/InAlGaAs с толщинами слоев яма/барьер 0,8/2 нм для достижения генерации на длинах волн 1300-1550 нм, а в предложенной оригинальной концепции туннельного перехода (ТП) n++InGaAs/p++-InGaAs/p++-InAlGaAs заращивание слоем InP осуществляется методом молекулярно-пучковой эпитаксии. Посредством молекулярно-пучковой эпитаксии и прямого двойного молекулярного спекания созданы гетероструктуры из которых изготовлены кристаллы ВИЛ на основе сверхрешеток InGaAs/InAlGaAs, исследованы их свойства. Кристаллы ВИЛ 1300 нм демонстрируют работу в одномодовом режиме с оптической мощностью 6 мВт, пороговым током 1,25 мА, быстродействием 8 ГГц. Описано влияние эффекта «насыщающегося поглотителя» в ВИЛ, приводящего к скачкообразному росту оптической мощности на пороге генерации.
ГРНТИ
47.35.31 Лазеры
47.14.09 Проектирование и конструирование приборов и устройств квантовой электроники
47.13.11 Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
45.09.35 Полупроводниковые материалы
29.33.15 Оптические квантовые генераторы и усилители (лазеры)
Ключевые слова
вертикально-излучающий лазер
активная область
сверхрешетка
молекулярно-пучковая эпитаксия
туннельный переход
спекание пластин
телекоммуникации
Детали
Автор
Рочас Станислав Станиславович
Вид
Кандидатская
Целевое степень
Кандидат физико-математических наук
Дата защиты
28.10.2022
Организация защиты
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИТМО"
Организация автора
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИТМО"
Похожие документы
Разработка физических основ конструирования и технологии создания полупроводниковых гетероструктур вертикально-излучающих лазеров спектрального диапазона 1300–1550 нм, фотоприемников спектрального диапазона 850–1600 нм, лазеров с пассивной синхронизацией мод и других типов новых оптоэлектронных приборов
0.942
ИКРБС
Разработка технологии молекулярно-пучковой эпитаксии, изготовление и исследования ЭО полупроводниковых наногетероструктур для ВИЛ спектрального диапазона 1530-1565 нм. Разработка технологии изготовления кристаллов ВИЛ.
0.929
ИКРБС
Апробация технологии молекулярно-пучковой эпитаксии полупроводниковых квантово-размерных наногетероструктур активной области и распределенных брэгговских отражателей для ВИЛ ближнего ИК-диапазона. Разработка методик измерения характеристик тестовых кристаллов ВИЛ
0.927
ИКРБС
Конструкция мощного полупроводникового импульсного лазера на базе туннельно-связанных гетероструктур
0.925
РИД
Технология изготовления мощного полупроводникового импульсного лазера на базе туннельно-связанных гетероструктур
0.925
РИД
Разработка технологии создания методом молекулярно-пучковой эпитаксии компонентов гетероструктур для вертикально-излучающих лазеров спектрального диапазона 1530-1565 нм
0.924
НИОКТР
Конструкция лазерной туннельно-связанной гетероструктуры для мощных полупроводниковых импульсных лазеров ИК-диапазона
0.924
РИД
Технология изготовления лазерной туннельно-связанной гетероструктуры для мощных полупроводниковых импульсных лазеров ИК-диапазона
0.924
РИД
Модификация характеристик полупроводниковых структур и лазеров на их основе методом прямой ионно-лучевой литографии
0.920
Диссертация
Разработка эпитаксиальной технологии роста и технологии постростовой обработки многослойных гетероструктур для мощных квантово-каскадных лазеров среднего инфракрасного диапазона
0.917
НИОКТР