Разработка прибора и способов диагностики наношероховатости и физико-механических свойств внутренних поверхностей тяжелонагруженных опор скольжения с топокомпозитным поверхностным слоем. Обобщение результатов исследований. Анализ полученных данных и разработка рекомендаций

По оптимизированной технологии изготовлены экспериментальные образцы пассивных наноэлементов (резисторов, конденсаторов и элементов индуктивности), а также активных наноэлементов (однофотонного детектора, перестраиваемого полосового СВЧ-фильтра высоких частот и однофотонного детектора). Параметры наноэлементов проверены при термоциклировании, а также в условиях машины замкнутого цикла, продемонстрирован уровень свойств, заявленный в ТЗ. На основе подтверждения соответствия характеристик наноэлементов уровню, заявленному в ТЗ, подана заявка на патент «Способ создания интегрированного криогенного адаптера питания на одном чипе в одном технологическом процессе». Обобщение результатов ПНИ и проведение ТЭО показало перспективность использования разработанной технологии, поскольку она обладает уникальными конкурентными достоинствами по сравнению с используемыми в настоящее время. Разработано ТЗ на ОКР по теме «Разработка и создание сверхпроводникового детектора с интегрированными пассивными и активными элементами на одном чипе».