Экспериментальные исследования. Доработка составных частей пассивных и активных функциональных наноэлементов. Этап 4

Объект исследования - пассивные и активные наноэлементы криоэлектроники с заданным уровнем критических параметров и свойств, изготовленные из сверхпроводящего NbN путем облучения ионными пучками различного состава. Основными результатами на данном этапе работы являются: оптимизация изготовления и совместного интегрирования активных наноэлементов на одном чипе, совершенствование топологии джозефсоновского перехода, СВЧ-фильтров, интегрированных детекторов, что позволило увеличить выход годного до (91 - 99)% при уменьшении технологических операций. Изготовлена, введена в строй и экспериментально проверена работоспособность отдельных узлов системы на основе машины замкнутого цикла в совокупности со стендом для проведения поверочных и исследовательских работ нанообъектов в широком температурном диапазоне. Получен патент «Способ изготовления сверхпроводящих многосекционных оптических детекторов».