ИССЛЕДОВАНИЕ ОКСИДНЫХ МЕЗО- И НАНОСТРУКТУР ДЛЯ РАЗРАБОТКИ МУЛЬТИСЕНСОРНЫХ СИСТЕМ (промежуточный)

31.01.2018

Цель: изучение методов изготовления газочувствительных материалов с характеристическими размерами в диапазоне до 100 нм для разработки новых газосенсорных элементов и систем на их основе. Будут развиты фундаментальные основы новых технологических подходов к изготовлению функциональных газосенсорных элементов и систем на их основе, что может позволить разработку сенсоров нового поколения с улучшенными характеристиками. Проведены исследования по разработке технологии формирования мультисенсорных чипов на основе термокаталитического слоя, подготовлен и апробирован электроизмерительный стенд для исследования электрических характеристик и газочувствительных свойств мультисенсорных чипов.

ГРНТИ

29.19.22 Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры

47.09.48 Наноматериалы для электроники

47.33.37 Приборы функциональной микроэлектроники

29.19.16 Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела

Ключевые слова

МЕЗОСТРУКТУРА

ОКСИД

НАНОТЕХНОЛОГИЯ

СЕНСОР

МУЛЬТИ-СЕНСОРНАЯ СИСТЕМА

Детали

НИОКТР

№ АААА-А17-117071320049-9

Заказчик

Министерство образования и науки Российской Федерации

Исполнитель

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю.А."

Похожие документы

Исследование оксидных мезо- и наноструктур для разработки мультисенсорных систем

0.947

ИКРБС

Исследование оксидных мезо- и наноструктур для разработки мультисенсорных систем

0.945

НИОКТР

Исследование оксидных мезо- и наноструктур для разработки мультисенсорных систем (заключительный)

0.937

ИКРБС

ОРГАНИЗАЦИЯ ПРОВЕДЕНИЯ НАУЧНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ

0.914