Отчёт о прикладных научных исследованиях по теме Разработка твердотельных тонкопленочных 3D литий-ионных аккумуляторов для микроминиатюрных устройств интегральной электроники, гибкой электроники и микросистемной техники Соглашение о предоставлении из федерального бюджета гранта в форме субсидии от «20» ноября 2019г. № 075-15-2019-1697 (внутренний № 05.604.21.0230) ИЗГОТОВЛЕНИЕ МАКЕТОВ ТТЛИА И ПРОВЕДЕНИЕ ИХ ИСПЫТАНИЙ (заключительный)

Разработка экологически чистых технологий производства портативных и безопасных твердотельных химических источников тока. В отчете содержатся: - описание лабораторных технологий нанесения функциональных слоев ТТЛИА; - описание технологии формирования 3D структур на кремнии методом плазмохимического травления; - описание технологии и процессов изготовления макетов ТТЛИА различных электрохимических систем в планарном и 3D исполнении; - результаты исследования структуры и морфологии функциональных слоев ТТЛИА, их элементного и фазового состава; - результаты испытаний макетов ТТЛИА в планарном и 3D исполнении; - обобщение полученных результатов ПНИ, оценка эффективности полученных результатов в сравнении с современным научно-техническим уровнем; - технико-экономическая оценка рыночного потенциала полученных результатов. В ходе выполнения второго этапа ПНИ получены следующие результаты: 1 Промежуточный отчет о ПНИ. 2. Технологический маршрут формирования высокоаспектной 3D- структуры на поверхности кремния методом плазмохимического травления 3. Лабораторные технологические регламенты изготовления макетов тонкопленочных ТТЛИА в планарном исполнении и 3D исполнении. 4. Макеты ТТЛИА в планарном и 3D исполнении. 5. Программы и методики испытаний макетов ТТЛИА в планарном и 3D исполнении 6. Проект технического задания на ОТР по созданию промышленной технологии изготовления тонкопленочного интегрального ЛИА Техническое задание и календарный план выполнены полностью.