Отчёт о прикладных научных исследованиях: Разработка твердотельных тонкопленочных ЗD литий-ионных аккумуляторов для микроминиатюрных устройств интегральной электроники, гибкой электроники и микросистемной техники. Проведение патентно-библиографических исследований и составление аналитического обзора по промышленным ТТЛИА (промежуточный). Этап 1.

Цель: разработка экологически чистых технологий производства портативных и безопасных твердотельных химических источников тока. Приведены: аналитический обзор современной научно-технической, нормативной, методической литературы в области создания полностью твердотельных литий-ионных аккумуляторов (ТТЛИА) в тонкопленочном (интегральном) исполнении; результаты выбора и обоснование направления исследований по тематике ПНИ; описание пробных экспериментов по формированию 3D структур на кремнии методом плазмохимического травления; описание конструкции и топологии макета тонкопленочного ТТЛИА в планарном и 3D исполнении; описание результатов отработки технологий: o нанесения твёрдого электролита LiPON на тонкопленочные электроды состава Si-O-Al, LixV2O5, LiFePO4, 1а bc2LiNiMnCoO+−δ (NMC), o нанесения тонких пленок состава Si-O-Al и x25LiVO на тонкую пленку твёрдого электролита LiPON, o нанесения медного токоотвода на тонкопленочные электроды состава: Si-O-Al, x25LiVO, 4LiFePO, NMC, o нанесения диэлектрического слоя на медный токоотвод, o вскрытии окон в слое диэлектрика для формирования контактных площадок. Получены следующие результаты: аналитический обзор современной научно-технической, нормативной, методической литературы в области создания ТТЛИА в тонкопленочном (интегральном) исполнении; отчет о патентных исследованиях; эскизная конструкторская документация на макет тонкопленочного ТТЛИА в планарном исполнении; эскизная конструкторская документация на макет тонкопленочного ТТЛИА в 3D исполнении.