Проектирование цифровой модели широкоапертурного источника низкоэнергетичных ионов. Разработка конструкции широкоапертурного источника низкоэнергетичных ионов в виде 3-D модели в САПР для изготовления прототипа изделия. Компьютерное моделирование основных кинетических процессов в полом катоде, для контроля достижения заданных характеристик.

Объектом исследования является разряд в полом катоде. Цель работы - разработать цифровую модель широкоапертурного источника низкоэнергетичных ионов для технологии прецизионного контролируемого атомно-слоевого осаждения и травления материалов микро- и наноэлектроники. Результатом проведенной в рамках первого этапа работы являются следующие пункты: 1. Проект цифровой модели широкоапертурного источника низкоэнергетичных ионов. 2. Конструкция широкоапертурного источника низкоэнергетичных ионов в виде 3-D модели в САПР SOLIDWORKS для изготовления прототипа изделия. 3. Компьютерная модель в среде COMSOL Multiphysics для расчета основных кинетических процессов в полом катоде, для контроля достижения заданных характеристик, были получены пространственное распределение плотности электронов в разрядной камере при различных давлениях, при учете четырех кинетических реакций. Результаты численного моделирования, показывают, что в разряде с полым катодом в аргоне при невысоких значениях прикладываемого к электродам напряжения можно создать протяженный плотный плазменный столб с высокой концентрацией заряженных и возбужденных частиц. Все работы по первому этапу выполнены в полном объеме. Область применения результатов – широкоапертурный источник низкоэнергетичных ионов предназначен для плазменной активации процессов атомно-слоевого осаждения и травления материалов микроэлектроники.