Разработка рабочей конструкторской документации. Испытания сборки газовой линии на стенде. Разработка эскизной технологической документация на процесс атомно-слоевого осаждения. Разработка термостатированного пъедестала. Изготовление установки атомно-слоевого осаждения. Создание программы и методики проведения испытаний установки атомно-слоевого осаждения. Проведение испытаний на установке атомно-слоевого осаждения. Разработка эксплуатационной документации. Доработка рабочей конструкторской документации по результатам испытаний.

Объект исследования – процессы атомно-слоевого осаждения тонких пленок металлов и соединений. Цель работы - Повышение однородности и скорости атомно-слоевого осаждения функциональных пленок и покрытий при помощи газовой системы, обеспечивающей сверхбыструю доставку и смену реагентов в зоне реакции, а также сверхбыстрое измерение и регулирование давления, расхода газов и температуры и локализацию наносимых слоев с использованием стимулирования ультрафиолетом. Основные результаты - разработаны конструктивные решения установки атомно-слоевого осаждения и обоснованы основные проектировочные решения, разработаны и изготовлены источники плазмы для процессов осаждения, разработаны и изготовлены опытные образцы элементов газовой системы, разработан и изготовлен стенд для испытания сборки газовой линии, проведены предварительные испытания газовой системы, изготовлены базовые узлы установки атомно-слоевого осаждения, проведены их предварительные испытания. разработана рабочая конструкторская документация на установку атомно-слоевого осаждения; проведены исследовательские испытания сборки газовой линии на стенде; разработана эскизная технологическая документация на процесс атомно- слоевого осаждения; разработан термостатированный пьедестал, обеспечивающий минимизацию температурных градиентов в зоне реакции; изготовлена установка атомно- слоевого осаждения; создана программа и методики проведения испытаний установки атомно-слоевого осаждения; проведены испытания на установке атомно-слоевого осаждения; разработана эксплуатационная документация на установку атомно-слоевого осаждения; по результатам испытаний проведена доработка рабочей конструкторской документации.