ИКРБС
№ 224071000017-4ОТЧЕТ (промежуточный) о выполнении этапа 1 опытно-конструкторской работы "Разработка и изготовление опытного образца установки и постановка базового технологического процесса формирования знаков совмещения на нижней стороне пластины" по теме: "Анализ научно-технической информации и разработка технических требований на исследование и отработку БТП формирования знаков совмещения на нижней стороне пластины"
27.04.2024
Объектом настоящего проекта является разработка и изготовление опытного образца Установки и технологического процесса формирования знаков совмещения на нижней стороне пластины.
Целью выполнения ОКР является разработка конструкторской документации с литерой «О1» на опытный образец Установки формирования знаков совмещения на нижней стороне пластины (далее – Установка), изготовление опытного образца Установки, разработка и постановка базового технологического процесса (далее – БТП) формирования знаков совмещения на нижней стороне пластины для полупроводниковых пластин диаметром: 100 мм, 150 мм и 200 мм.
ГРНТИ
47.13.13 Технология и оборудование для производства радиодеталей и компонентов
Ключевые слова
Проекционный перенос
Базовый технологический процесс
Формирования знаков совмещения на нижней стороне пластины
Детали
НИОКТР
Заказчик
МИНИСТЕРСТВО ПРОМЫШЛЕННОСТИ И ТОРГОВЛИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Исполнитель
АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "ЗЕЛЕНОГРАДСКИЙ НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ЦЕНТР"
Бюджет
Средства федерального бюджета: 100 000 000 ₽
Похожие документы
ОТЧЕТ об опытно-конструкторской работе "Разработка и изготовление опытного образца установки и постановка базового технологического процесса формирования знаков совмещения на нижней стороне пластины", шифр "Прогресс-Перенос" по теме: "Разработка рабочей КД и ТД на опытный образец Установки, проекта ТД на БТП формирования знаков совмещения на нижней стороне пластины, рабочей КД на тестовый фотошаблон для формирования знаков совмещения на нижней стороне пластины (промежуточный, этап 2)
0.936
ИКРБС
ОТЧЕТ (промежуточный) о выполнении этапа 3 опытно-конструкторской работы «Разработка, изготовление комплекта стендового оборудования, разработка и освоение в производстве установки и технологического процесса проекционного переноса изображений топологического рисунка ИС на пластину (Step&Repeat) в обеспечение производства ИС, ЭКБ с проектными нормами 350 нм» по теме: "Анализ результатов испытаний тестовых структур (ТС) изготовленных на опытном образце установки проекционного переноса изображений с разрешением 350 нм в рамках отработки базового техпроцесса"
0.912
ИКРБС
ОТЧЕТ (промежуточный) О ВЫПОЛНЕНИИ ЭТАПА 2 ОПЫТНО-КОНСТРУКТОРСКОЙ РАБОТЫ
«РАЗРАБОТКА, ИЗГОТОВЛЕНИЕ КОМПЛЕКТА СТЕНДОВОГО ОБОРУДОВАНИЯ, РАЗРАБОТКА И ОСВОЕНИЕ В ПРОИЗВОДСТВЕ УСТАНОВКИ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ПРОЕКЦИОННОГО ПЕРЕНОСА ИЗОБРАЖЕНИЙ ТОПОЛОГИЧЕСКОГО РИСУНКА ИС НА ПЛАСТИНУ (STEPREPEAT) В ОБЕСПЕЧЕНИИ ПРОИЗВОДСТВА ИС, ЭКБ С ПРОЕКТНЫМИ НОРМАМИ 350 НМ»
0.910
ИКРБС
Отчет (промежуточный) о выполнении этапа 2 ОКР «Разработка и изготовление установки проекционного переноса изображений топологического рисунка ИС на пластину (step&repeat) и источников излучения с длиной волны 193 и 248 нм, постановка базовых технологических процессов проекционного переноса изображений на пластину (step&repeat) с размером минимального конструкционного элемента 130 нм», в части уточнения технических требований на исследование и отработку БТП.
0.904
ИКРБС
"РАЗРАБОТКА И ОСВОЕНИЕ В ПРОИЗВОДСТВЕ ГЕНЕРАТОРА ИЗОБРАЖЕНИЙ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ ТОПОЛОГИЧЕСКИХ СТРУКТУР НА ФОТОШАБЛОНАХ В ОБЕСПЕЧЕНИЕ ПРОИЗВОДСТВА ИС С ТОПОЛОГИЧЕСКИМИ НОРМАМИ 90-65 НМ"
0.904
ИКРБС
"РАЗРАБОТКА И ОСВОЕНИЕ В ПРОИЗВОДСТВЕ ГЕНЕРАТОРА ИЗОБРАЖЕНИЙ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ ТОПОЛОГИЧЕСКИХ СТРУКТУР НА ФОТОШАБЛОНАХ В ОБЕСПЕЧЕНИЕ ПРОИЗВОДСТВА ИС С ТОПОЛОГИЧЕСКИМИ НОРМАМИ 90-65 НМ"
0.898
ИКРБС
«Разработка и освоение в производстве установки контроля координат топологических элементов и критических размеров структур на фотошаблонах в обеспечение производства ИС с топологическими нормами 90-65 нм»
0.897
ИКРБС
"Разработка рабочей конструкторской документации (РКД) на опытные образцы (ОО). Изготовление полупроводниковых кристаллов ОО. Разработка программы и методики предварительных испытаний ОО. Проведение предварительных испытаний ОО. Разработка программы и методики приемочных испытаний опытных образцов. (Промежуточный)."
0.891
ИКРБС
Этап №1 "Разработка конструкции опытного образца системы аэрозольного напыления фоторезистов. Разработка архитектуры ПО опытного образца. Разработка печатной платы опытного образца. Изготовление печатной платы опытного образца."(промежуточный)
0.890
ИКРБС
«Разработка и освоение в производстве установки контроля координат топологических элементов и критических размеров структур на фотошаблонах в обеспечение производства ИС с топологическими нормами 90-65 нм»
0.888
ИКРБС