ИКРБС
№ 223071000008-3ОТЧЕТ (промежуточный) О ВЫПОЛНЕНИИ ЭТАПА 2 ОПЫТНО-КОНСТРУКТОРСКОЙ РАБОТЫ «РАЗРАБОТКА, ИЗГОТОВЛЕНИЕ КОМПЛЕКТА СТЕНДОВОГО ОБОРУДОВАНИЯ, РАЗРАБОТКА И ОСВОЕНИЕ В ПРОИЗВОДСТВЕ УСТАНОВКИ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ПРОЕКЦИОННОГО ПЕРЕНОСА ИЗОБРАЖЕНИЙ ТОПОЛОГИЧЕСКОГО РИСУНКА ИС НА ПЛАСТИНУ (STEPREPEAT) В ОБЕСПЕЧЕНИИ ПРОИЗВОДСТВА ИС, ЭКБ С ПРОЕКТНЫМИ НОРМАМИ 350 НМ»
30.05.2023
В процессе выполнения этапа 2 ОКР «Разработка, изготовление комплекта стендового оборудования, разработка и освоение в производстве установки и технологического процесса проекционного переноса изображений топологического рисунка ИС на пластину (Step&Repeat) в обеспечение производства ИС, ЭКБ с проектными нормами 350 нм» были выполнены следующие работы:
– разработана КД и ТД опытного образца установки проекционного переноса изображения;
– разработана КД и ТД на высокопрецизионный обрабатывающий центр с вертикальным аэростатическим шпинделем с системой контроля децентрировки линз в оправах;
– разработана КД и ТД на установку сборки высокоапертурных фотолитографических объективов;
– разработана КД и ТД на стенд для измерения (контроля) фотолитографических и аберрационных характеристик объективов на рабочих длинах волн;
– разработана КД на комплекс инженерно-исследовательский для исследования и отработки БТП;
– разработана КД на тестовые структуры;
– разработан проект технологического маршрута изготовления тестовых структур;
– изготовлен комплекс инженерно-исследовательский;
– проведены технологические испытания тестовых структур.
ГРНТИ
47.13.13 Технология и оборудование для производства радиодеталей и компонентов
Ключевые слова
КД И ТД НА КОМПЛЕКТ СТЕНДОВОГО ОБОРУДОВАНИЯ
ТЕСТОВЫЕ СТРУКТУРЫ
КОМПЛЕКС ИНЖЕНЕРНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ И ОТРАБОТКИ БТП
ТД НА ОПЫТНЫЙ ОБРАЗЕЦ УСТАНОВКИ СОВМЕЩЕНИЯ
КД НА ОПЫТНЫЙ ОБРАЗЕЦ УСТАНОВКИ СОВМЕЩЕНИЯ
Детали
НИОКТР
Заказчик
МИНИСТЕРСТВО ПРОМЫШЛЕННОСТИ И ТОРГОВЛИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Исполнитель
Акционерное общество "Зеленоградский нанотехнологический центр"
Бюджет
Средства федерального бюджета: 320 250 000 ₽
Похожие документы
ОТЧЕТ (промежуточный) о выполнении этапа 3 опытно-конструкторской работы «Разработка, изготовление комплекта стендового оборудования, разработка и освоение в производстве установки и технологического процесса проекционного переноса изображений топологического рисунка ИС на пластину (Step&Repeat) в обеспечение производства ИС, ЭКБ с проектными нормами 350 нм» по теме: "Анализ результатов испытаний тестовых структур (ТС) изготовленных на опытном образце установки проекционного переноса изображений с разрешением 350 нм в рамках отработки базового техпроцесса"
0.954
ИКРБС
Отчет (промежуточный) о выполнении этапа 2 ОКР «Разработка и изготовление установки проекционного переноса изображений топологического рисунка ИС на пластину (step&repeat) и источников излучения с длиной волны 193 и 248 нм, постановка базовых технологических процессов проекционного переноса изображений на пластину (step&repeat) с размером минимального конструкционного элемента 130 нм», в части уточнения технических требований на исследование и отработку БТП.
0.935
ИКРБС
"РАЗРАБОТКА И ОСВОЕНИЕ В ПРОИЗВОДСТВЕ ГЕНЕРАТОРА ИЗОБРАЖЕНИЙ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ ТОПОЛОГИЧЕСКИХ СТРУКТУР НА ФОТОШАБЛОНАХ В ОБЕСПЕЧЕНИЕ ПРОИЗВОДСТВА ИС С ТОПОЛОГИЧЕСКИМИ НОРМАМИ 90-65 НМ"
0.919
ИКРБС
"РАЗРАБОТКА И ОСВОЕНИЕ В ПРОИЗВОДСТВЕ ГЕНЕРАТОРА ИЗОБРАЖЕНИЙ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ ТОПОЛОГИЧЕСКИХ СТРУКТУР НА ФОТОШАБЛОНАХ В ОБЕСПЕЧЕНИЕ ПРОИЗВОДСТВА ИС С ТОПОЛОГИЧЕСКИМИ НОРМАМИ 90-65 НМ"
0.914
ИКРБС
ОТЧЕТ (промежуточный) о выполнении этапа 1 опытно-конструкторской работы "Разработка и изготовление опытного образца установки и постановка базового технологического процесса формирования знаков совмещения на нижней стороне пластины" по теме: "Анализ научно-технической информации и разработка технических требований на исследование и отработку БТП формирования знаков совмещения на нижней стороне пластины"
0.910
ИКРБС
Отработка техпроцессов фотолитографии, плазмохимического травления, осаждения пленок, термообработок. Разработка эскизного маршрута изготовления библиотечных компонентов ФИС. Изготовление экспериментальных образцов пассивных компонентов ФИС. Разработка программы и методик исследовательских испытаний экспериментальных образцов библиотечных компонентов ФИС.
0.907
ИКРБС
«Разработка и освоение в производстве установки контроля координат топологических элементов и критических размеров структур на фотошаблонах в обеспечение производства ИС с топологическими нормами 90-65 нм»
0.907
ИКРБС
Промежуточный отчет по 2 этапу НИОКР «Разработка, изготовление и проведение лабораторных испытаний опытного образца промышленного лазерного 3D принтера»
0.906
ИКРБС
«РАЗРАБОТКА, ИЗГОТОВЛЕНИЕ КОМПЛЕКТА СТЕНДОВОГО ОБОРУДОВАНИЯ, РАЗРАБОТКА И ОСВОЕНИЕ В ПРОИЗВОДСТВЕ УСТАНОВКИ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ПРОЕКЦИОННОГО ПЕРЕНОСА ИЗОБРАЖЕНИЙ ТОПОЛОГИЧЕСКОГО РИСУНКА ИС НА ПЛАСТИНУ (STEPREPEAT) В ОБЕСПЕЧЕНИИ ПРОИЗВОДСТВА ИС, ЭКБ С ПРОЕКТНЫМИ НОРМАМИ 350 НМ»
В ЧАСТИ УТОЧНЕНИЯ ТЕХНИЧЕСКИХ ТРЕБОВАНИЙ НА ИССЛЕДОВАНИЕ И ОТРАБОТКУ БТП Шифр «Прогресс ППИ»
0.905
ИКРБС
Разработка конструкторской документации на модули оптические и блок электронный для экспериментального образца интерферометрического преобразователя линейных перемещений . Изготовление формирователя для экспериментального образца интерферометрического преобразователя линейных перемещений. Напыление оптических деталей экспериментального образца интерферометрического преобразователя линейных перемещений. Изготовление электронных плат экспериментального образца интерферометрического преобразователя линейных перемещений.
0.902
ИКРБС