"РАЗРАБОТКА И ОСВОЕНИЕ В ПРОИЗВОДСТВЕ ГЕНЕРАТОРА ИЗОБРАЖЕНИЙ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ ТОПОЛОГИЧЕСКИХ СТРУКТУР НА ФОТОШАБЛОНАХ В ОБЕСПЕЧЕНИЕ ПРОИЗВОДСТВА ИС С ТОПОЛОГИЧЕСКИМИ НОРМАМИ 90-65 НМ"

В процессе разработки технологической документации на генератор кроме технологических процессов на детали и сборочные единицы разработан ряд технологических инструкций. В технологических инструкциях указана область ее применения, технические требования, необходимые материалы и оборудование, технологический процесс выполнения и требования безопасности. В процессе разработки технологической документации генератора выполнены мероприятия по подготовке производства опытного образца:  конструкция изделия отработана на технологичность с обеспечением точности изготовления изделия и его составных частей;  разработаны технологические процессы на детали и сборочные единицы генератора изображений топологических структур на фотошаблонах;  разработаны управляющие программы для станков с ЧПУ в среде hyperMILL компании OPEN MIND;  разработана конструкторская и технологическая документация технологической оснастки;  разработана специфицированная ведомость норм расхода основных и вспомогательных материалов;  разработана ведомость покупных комплектующих на изделие;  подготовлен персонал для выполнения работ по изготовлению, монтажу, наладке, испытаниям, контролю и приемке изделия;  выбраны поставщики материалов, комплектующих и стандартизованной оснастки для изготовления генератора. Разработка ТД выполнена с учетом технологичности изготовления, надежности и долговечности эксплуатации, что создает предпосылку для получения отечественного генератора, не уступающего лучшим зарубежным аналогам по основным техническим параметрам, для генерирования топологических структур интегральных схем технологического уровня 90 – 65 нм.