НИОКТР
№ АААА-А17-117032350009-5Исследование методов получения образцов тонкопленочных материалов на основе диоксида ванадия методом химического газофазного осаждения, анализ полученных образцов
14.03.2017
Разработка технологии мелкосерийного производства оптических материалов на основе диоксида ванадия.Предложен способ нанесения покрытия высокого качества на основе диоксида ванадия по технологии химического осаждения из газовой фазы летучих металорганических прекурсоров, разработан технологический процесс фотолитографии пленок диоксида ванадия и металлических/полупроводниковых пленок на их поверхности.
ГРНТИ
31.17.15 Неорганическая химия
Ключевые слова
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
ДИОКСИД ВАНАДИЯ
МЕТОДОМ ХИМИЧЕСКОГО ГАЗОФАЗНОГО ОСАЖДЕНИЯ
Детали
Начало
01.03.2017
Окончание
01.05.2017
№ контракта
256/17
Заказчик
Общество с ограниченной ответственностью "ОКСИФИЛМ"
Исполнитель
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова"
Похожие документы
Исследование процесса химического осаждения тонкопленочных материалов на основе диоксида ванадия
0.955
НИОКТР
Функциональные материалы, наноматериалы и технологии
по теме:
Исследование процесса химического осаждения тонкопленочных материалов на основе диоксида ванадия (заключительный)
0.946
ИКРБС
Разработка метода пирогидролитического осаждения диоксида ванадия из прекурсоров бета-дикетонатов ванадила
0.939
ИКРБС
Создание технологии изготовления оптических материалов на основе диоксида ванадия размером до трёх дюймов
0.938
НИОКТР
Способ получения тонких пленок диоксида ванадия, легированного вольфрамом
0.930
РИД
Методы и технологии выращивания высококачественных пленок
0.929
НИОКТР
Фундаментальные основы сольвотермального метода синтеза эпитаксиальных пленок диоксида ванадия с переходом диэлектрик-металл
0.928
НИОКТР
Функциональные материалы, наноматериалы и технологии
по теме:
Фундаментальные основы сольвотермального метода синтеза эпитаксиальных пленок диоксида ванадия с переходом диэлектрик-металл (заключительный)
0.927
ИКРБС
Разработка технологии изготовления материалов на основе диоксида ванадия размером до трех дюймов
0.926
ИКРБС
Модификация свойств оксидных микро- и наноструктур для использования их в различных устройствах электронной техники
0.914
ИКРБС