НИОКТР
№ АААА-А18-118030190087-8Фундаментальные исследования в области разработки технологий создания структур микро – и наносистемной техники (2018-2020_009)
01.03.2018
Исследование и разработка процессов плазмохимического, глубокого, анизотропного травления микро- и наноструктур Si для создания элементов устройств микро- и наносистемной техники.Экспериментальные и теоретические исследования влияния ионно-плазменной обработки на морфологию, структуру и механические свойства одно- и многослойных пленок металлов и характеристики микрокантелеверов на их основе.Исследование процессов травления материалов наноэлектроники (Si, SiO2, пленок металлов нанометровой толщины) в не агрессивной, плотной кислород , азот-аргонсодержащей плазме ВЧИ разряда для целей наноэлектроники. Разработка конструкции, технологии изготовления микроприводов на основе структур кремний-на изоляторе и исследование их характеристик.
ГРНТИ
47.33.37 Приборы функциональной микроэлектроники
Ключевые слова
ПЛАЗМЕННЫЕ ПРОЦЕССЫ
МИКРО-И НАНОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
НАНОРЕЗОНАТОРЫ
Детали
Начало
01.01.2018
Окончание
31.12.2020
№ контракта
007-ГЗ/Ч1824/066
Заказчик
Федеральное агентство научных организаций
Исполнитель
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт имени К.А.Валиева Российской академии наук
Бюджет
Средства федерального бюджета: 11 067 100 ₽
Похожие документы
- Фундаментальные исследования в области разработки технологий создания структур микро – и наносистемной техники -2019
0.948
НИОКТР
Фундаментальные исследования в области разработки технологий создания структур микро – и наносистемной техники 2019 (промежуточный, этап 2)
0.941
ИКРБС
-Исследование и разработка многостадийных, циклических процессов плазмохимического травления материалов с атомарным разрешением для формирования многоуровневых систем металлизации суб-10 нм технологии изготовления интегральных схем.
0.933
НИОКТР
Фундаментальные исследования в области разработки технологий создания структур микро – и наносистемной техники 2019
0.930
ИКРБС
Научно-исследовательские работы по созданию и оптимизации технологии плазменного травления для изготовления чувствительных микромеханических элементов сенсоров угловой скорости (МЭМС-УС)
0.919
ИКРБС
ФУНДАМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ В ОБЛАСТИ РАЗРАБОТКИ ТЕХНОЛОГИЙ СОЗДАНИЯ СТРУКТУР МИКРО – И НАНОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ (промежуточный, этап 1)
0.916
ИКРБС
Исследование и разработка физико-технологических методов создания, диагностики и приборно-технологического моделирования элементов микро- и наноэлектроники
0.916
ИКРБС
Разработка технологии модификации поверхностных слоёв конструкционных и функциональных материалов высокого уровня технологической готовности для использования в промышленности
0.912
НИОКТР
Фундаментальные и прикладные исследования в области субволновой голографической литографии, физико-химических процессов травления 3D нанометровых диэлектрических структур для развития критических технологий производства ЭКБ. 0065-2019-0006
0.912
ИКРБС
-Исследование возможностей атомно слоевого травления структур микро- и наноэлектроники
0.910
НИОКТР