Научно-исследовательские работы по созданию и оптимизации технологии плазменного травления для изготовления чувствительных микромеханических элементов сенсоров угловой скорости (МЭМС-УС)

Объектом разработки является конструкция чувствительного элемента микроэлектромеханического датчика угловой скорости. Цель работы: создание и оптимизация технологии плазменного травления для изготовления чувствительных микромеханических элементов сенсоров угловой скорости (МЭМС УС).Метод работы заключался в анализе уровня существующих разработок по тематике работы, разработке технологических решений и определении критических параметров технологии плазменного травления для создания МЭМС УС.Результаты работы: анализ научно-технической литературы, нормативно-технической документации и других материалов, относящихся к разрабатываемой теме, анализ факторов, вызывающих неравномерность скорости травления по пластине в процессе плазмохимического травления вообще и при проведении Bosch – процесса в частности, экспериментальные процессы глубокого травления кремния с целью оптимизации равномерности.Результаты этапа будут использованы на следующем этапе работы.