Синтез и обработка новых неорганических материалов с использованием плазмы и микроволнового излучения

НИР посвящена исследованию физико-химических процессов в низкотемпературной плазме, создаваемой СВЧ излучением сантиметрового и миллиметрового диапазонов длин волн. Задачами работы являются создание плазмы с помощью волновых пучков и объемных резонаторов в различных газовых смесях, в том числе и углеводородных, исследование параметров плазмы и протекающих плазмохимических процессов. Одной из основных задач работы является разработка физических основ применения такой плазмы в технологии газофазного синтеза (CVD – chemical vapor deposition) углеродных материалов. При выполнении работы будут исследованы технологии получения электропроводящих нано- и микрокристаллических алмазных пленок и эпитаксиальных монокристаллических алмазных слоев. Проводимые работы предполагают проведение экспериментальных исследований условий синтеза алмазных пленок из газовой фазы в многокомпонентных газовых смесях в плазме микроволнового разряда; диагностику параметров плазмы и химически активных радикалов, численное моделирование СВЧ разряда и кинетики плазмохимических процессов, выращивание нано-, микро- и монокристаллических алмазных пленок, изучение их свойств, разработку технологических приемов получения алмазных пленок, обладающих полупроводниковыми свойствами. На основе новых данных предполагается получение полупроводникового CVD алмаз p- и n-типа проводимости и p-n переходов для создания электронных приборов на алмазе.