Промышленная инновация
№ 15-020-18СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОКАНАЛЬНОЙ ПЛАСТИНЫ
26.11.2018
Изобретение относится к технологии изготовления микроканальных пластин с повышенными коэффициентом усиления, отношением сигнал/шум, разрешающей способностью и может быть использовано в производстве МКП. Изобретение направлено на повышение эффективности первого соударения электронов со стенками каналов, увеличение прозрачности входа и уменьшение разброса по глубине первого соударения. Способ включает нанесение на входную торцевую поверхность металлического контактного электрода и расположение испарителя под углом к заготовке МКП, напыление входного контактного электрода осуществляют из направленного испарителя, относительно которого вращают заготовку МКП, которая неподвижна к своей оси, причем угол наклона испарителя к торцевой поверхности заготовки устанавливают таким образом, чтобы глубина контактного электрода внутри каналов МКП составила 1,5-2 диаметра канала.
ГРНТИ
47.14.07 Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
Детали
Отрасль ТЭК
Не указано
Критически значимая технология
4 технологический уклад, лазерные и электронно-ионно-плазменные технологии
Инновационность
Отсутствует
Эффект от внедрения
повышение уровня рентабельности на 28%
Филиал РЭА
СО ЦНТИ
Владелец
СКГТУ
Похожие документы
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАТРИЦЫ МНОГООСТРИЙНОГО АВТОЭМИССИОННОГО КАТОДА НА МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОМ КРЕМНИИ
0.914
Промышленная инновация
Способ изготовления микроканальных пластин с монолитным обрамлением.
0.913
Промышленная инновация
Устройство для синтеза тонких пленок внутри каналов микроканальной пластины
0.911
РИД
Способ восстановления микроканальной пластины
0.904
Промышленная инновация
СПОСОБ ПОДГОТОВКИ МИКРОПРОВОДОВ СО СТЕКЛЯННОЙ ОБОЛОЧКОЙ ДЛЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СОЕДИНЕНИЯ
0.902
РИД
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МИКРОННЫХ ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩИХ ДОРОЖЕК НА ПОДЛОЖКАХ АНОДИРОВАННОГО АЛЮМИНИЯ
0.902
РИД
Устройство для синтеза тонких пленок внутри каналов микроканальной пластины
0.901
РИД
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ КОНТАКТНЫХ ОКОН В СЛОЕ ЗАЩИТНОГО ОСНОВАНИЯ ВЫСОКОВОЛЬТНОГО ПРИБОРА
0.901
РИД
СПОСОБ ПОВЫШЕНИЯ ПЛОТНОСТИ И СТАБИЛЬНОСТИ ТОКА МАТРИЦЫ МНОГООСТРИЙНОГО АВТОЭМИССИОННОГО КАТОДА
0.899
Промышленная инновация
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ РАДИОЭЛЕКТРОННЫХ КОМПОНЕНТОВ
0.898
РИД