СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТЕПЛОВОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ПЕРЕХОД-КОРПУС И ТЕПЛОВОЙ ПОСТОЯННОЙ ВРЕМЕНИ ПЕРЕХОД-КОРПУС ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ИЗДЕЛИЯ

Изобретение относится к технике измерения тепловых параметров полупроводниковых изделий (ППИ) в виде полупроводниковых приборов (ППП) и интегральных схем (ИС) и может быть использовано для контроля тепловых параметров ППИ как на этапах их разработки и производства, так и на входном контроле предприятий-потребителей ППИ. Техническая задача состоит в расширении функциональных возможностей способа и в снижении погрешности измерения теплового сопротивления переход-корпус и тепловой постоянной времени переход-корпус полупроводникового изделия. Технический результат - снижение погрешности - достигается за счет того, что в предлагаемом способе исключается неопределенность задания длительности импульса греющей мощности, значения искомых тепловых параметров находятся по результатам трех измерения из простых арифметических формул. При этом появляется дополнительная функциональная возможность определения уточненного значения тепловой постоянной времени переход-корпус ППИ. Важной особенностью и преимуществом предлагаемого способа является то, что при его реализации не требуется выполнения точного равенства t1≈τТп-к, достаточно лишь примерного равенства. При этом оценочное (примерное) значение тепловой постоянной времени переход-корпус для конкретного типа ППИ можно примерно найти из предварительных измерений или из паспортных данных ППИ, представляемых предприятием-производителем. При этом надо иметь в виду, что предлагаемый способ, как и известные способы, не применим к ППИ, для которых условие τп-к<<τк-с не выполняется. URL: https://new.fips.ru/registers-doc-view/fips_servlet?DB=RUPAT&DocNumber=2787328&TypeFile=html (дата обращения:02.06.2023)