РИД
№ АААА-Г17-617042710012-7Программа для управления кольцевым планарным магнетроном
27.04.2017
Программа для управления кольцевым планарным магнетроном.Аннотация: Программа предназначена для научных исследований и может применяться при управлении установкой для нанесения тонкопленочных покрытий вакуумным испарением с использованием магнетрона. К основным функциональным возможностям программы относятся следующие: управление вакуумным насосом; управление электродвигателями циркуляционных насосов первого и второго контуров охлаждения мишени-катода; измерение и индикация текущей температуры мишени-катода. Программа полезна при проведении управляемых экспериментов по изучению параметров технологического процесса ионного распыления, а также может применяться в обучении, например, при освоении методов низкоуровневого программирования на языке ассемблера AVR-микроконтроллеров в рамках изучения дисциплины «Микропроцессорные системы».
ГРНТИ
47.09.53 Композиционные материалы для радиоэлектроники
Ключевые слова
ТОНКОПЛЕНОЧНОЕ ПОКРЫТИЕ
ВАКУУМ
МАГНЕТРОН
ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
МИКРОПРОЦЕССОРНАЯ СИСТЕМА
Детали
НИОКТР
№ 115110610026
Тип РИД
Программа для ЭВМ
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ижевский государственный технический университет имени М.Т. Калашникова"
Заказчик
Министерство образования и науки Российской Федерации
Похожие документы
Программный комплекс для управления режимами работы источника плазмы
0.902
РИД
Программа автоматизации импульсного лазерного напыления тонких плёнок
0.902
РИД
Программа для управления откачной системой в составе электронно-лучевой вневакуумной установки с плазменным эмиттером
0.894
РИД
Программа для управления режимами ионно-плазменной обработки изделий в вакуумной установке
0.892
РИД
Программа для системы управления магнетронной установкой по напылению тонких плёнок
0.891
РИД
Программа управления и обработки данных с программируемого источника питания постоянного тока
0.891
РИД
Программа для автоматизированного управления установкой плазмохимического акватермолиза тяжёлого углеводородного сырья
0.891
РИД
Автоматизация измерений гальваномагнитных и термоэлектрических свойств пленок полуметаллов
0.889
РИД
Программа управления автоматической системой для напыления электрокатализаторов на поверхность электродов или полимерных мембран электрохимических устройств
0.888
РИД
Программное обеспечение для исследования процесса переключения образцов на основе тонких пленок фазовой памяти
0.888
РИД