Способ изготовления ВЧ-МЭМС переключателя при помощи установки безмасковой литографии

Полезная модель относится к области изготовления СВЧ электроники. Способ изготовления ВЧ МЭМС переключателя при помощи установки безмасковой литографии включает в себя метод напыления тонкого слоя металлизации нижнего электрода, метод формирования топологии слоя изолирующего диэлектрика и жертвенного слоя, нанесённых методом PECVD, метод формирования слоя подвижного электрода с перфорацией. При формировании слоя подвижного электрода с перфорацией, а также СВЧ подводящих линий, сначала методом магнетронного напыления наносится тонкий адгезионный слой металла, после чего на него гальванически наносится толстый слой металла, при этом напряжение прикладывается к металлическому кольцу, сформированному по внешнему диаметру пластины.