РИД
№ АААА-Г19-619090490074-3

Газовый сенсор

04.09.2019

Технический результат полезной модели - увеличение срока службы газового сенсора. Сущность полезной модели заключается в том, что на диэлектрической подложке расположено три рабочих области, каждая из которых отделена от диэлектрической подложки сквозной перфорацией и соединена с ней парой перемычек. В рабочих областях на одной стороне диэлектрической подложки сформированы три нагревателя, связанные токоведущими дорожками с четырьмя контактными площадками, расположенными на той же стороне подложки, причем одна из контактных площадок является общей для всех нагревателей. На другой стороне подложки в рабочих областях сформированы три чувствительных элемента и четыре контактных площадки, соединение которых осуществлено аналогичным образом. Такое подключение нагревателей и чувствительных элементов, дает возможность как раздельного, так и параллельного использования чувствительных элементов в приборе.
ГРНТИ
59.35.29 Приборы для измерения состава и физико-химических свойств газов
61.43.39 Средства химической защиты
Ключевые слова
МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ УСТРОЙСТВА
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ДАТЧИК
СЕЛЕКТИВНОЕ ДЕТЕКТИРОВАНИЕ ГАЗА
Детали

Тип РИД
Полезная модель
Сферы применения
Полезная модель относится к области микроэлектронных и микромеханических устройств, а более конкретно к газовым сенсорам и может найти широкое применение в измерительной технике, предназначенной для определения типов различных газов и их количественного содержания в воздухе.
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ"
Заказчик
Министерство образования и науки Российской Федерации