Способ нанесения антиэмиссионного покрытия из пиролитического углерода на сеточные электроды мощных электровакуумных приборов Патент на изобретение №2759822, С23С 14/06, Бюл. № 32 от 18.11.2021, Заявка № 2020142407 от 21.12.2020.

Изобретение относится к области нанесения способом плазмохимического осаждения из газовой фазы антиэмиссионного покрытия из пиролитического углерода на металлические сеточные электроды электронных ламп большой мощности, таких как мощные генераторные лампы, лампы бегущей волны (ЛБВ), клистроны импульсного и непрерывного действия, магнетроны, и т.п. Способ включает создание плазмы вакуумно-дугового разряда с графитового катода в вакуумной камере. Плазма одновременно используется как для нагрева сеточных электродов, так и для разложения газообразных углеводородов или паров жидких углеводорода на активные радикалы. При этом отпадает необходимость в использовании плазмообразующих газов и снижается температура пиролиза углеводородов. Изобретение способствует упрощению технологического процесса нанесения пироуглерода, снижению энергозатрат и как следствие повышению экономической эффективности процесса, повышению адгезии покрытий и скорости их осаждения.