Способ обработки электродов изолирующих промежутков высоковольтных электровакуумных приборов

Изобретение относится к технике высоких напряжений, в частности к технике электрической изоляции в вакууме, и может использоваться в высоковольтных энергоустановках и электровакуумных приборах для повышения эксплуатационных характеристик. Способ обработки электродов заключается в том, что рабочие поверхности электродов изолирующих промежутков оплавляют концентрированными потоками плазмы с последующим осаждением на поверхность электродов кремний-углеродной пленки с низкой шероховатостью поверхности и низкой эмиссионной активностью толщиной 2,5-3 мкм в плазме несамостоятельного дугового разряда с накаленным катодом с использованием кремнийорганического прекурсора - ПФМС. Технический результат - повышение электрической прочности вакуумной изоляции электродных промежутков, достигаемое осаждением диэлектрической кремний-углеродной пленки.