РИД
№ 623013000446-9Программа анализа растровой электронной микроскопии для оценки параметра шероховатости боковых стенок линий
30.01.2023
Программа анализа растровой электронной микроскопии для оценки параметра шероховатости боковых стенок линий позволяет провести анализ изображения линий, полученного методом растровой электронной микроскопии, и получить основные параметры шероховатости боковых стенок.
ГРНТИ
47.13.07 Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
Ключевые слова
шероховатость боковых стенок
литография
растровая электронная микроскопия
Детали
НИОКТР
Тип РИД
Программа для ЭВМ
Сферы применения
Программа может применяться в микроэлектронике при отработке технологий литографии высокого разрешения и плазмохимического травления для формирования затворов МОП транзисторов.
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт имени К.А.Валиева Российской академии наук
Заказчик
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Похожие документы
Программа анализа шероховатости поверхностей и боковых стенок линий на микроскопических снимках полупроводниковых элементов
0.930
РИД
Программа анализа шероховатости боковых стенок элементов рентгеновской оптики с помощью атомно-силовой микроскопии
0.912
РИД
Программа для расчета параметра шероховатости Ra многоуровневых рельефов поверхностей
0.877
РИД
Программа обработки изображений растровой электронной микроскопии для анализа неоднородностей и частиц в пленках
0.876
РИД
Программа построения профилей и вычисления параметров шероховатости поверхности, полученных при помощи оптического пера
0.871
РИД
Программа для автоматизированного измерения осаждённых наноразмерных структур на основе изображений с растрового электронного микроскопа.
0.865
РИД
Инструмент для оценки количественных характеристик шероховатости наноструктур по пространственному распределению засветки резиста (LER Simulator)
0.863
РИД
Определение структурных характеристик материала по данным сканирующей электронной микроскопии методом секущих прямых.
0.857
РИД
Программа для определения волнистости и шероховатости объектов на основе томографических данных
0.854
РИД
Модуль расчёта степени текстурированности поверхности по данным сканирующей зондовой микроскопии
0.853
РИД