РИД
№ 623020200118-1Конструкторская документация на магнетронное плазменное устройство для нанесения термоэлектрических покрытий
02.02.2023
Разработана конструкция устройства для напыления термоэлектрических тонкопленочных покрытий в вакууме. В конструкцию магнетронного распылительного устройства внесены изменения, обеспечивающие тепловой режим процесса нанесения и возможность точного управления мощностью распыления. Превышение этих характеристик приводит к нестабильности температуры распыляемой поверхности и соответственно изменению скорости роста пленок и изменению их свойств.
ГРНТИ
29.27.35 Магнитное удержание плазмы
Ключевые слова
магнетрон
термоэлектрические пленки
вакуумно-плазменное напыление
Детали
НИОКТР
Тип РИД
Секрет производства (ноу хау)
Сферы применения
Напыление тонкопленочных покрытий при разработке и изготовлении микроприборов на основе технологий микроэлектроники.
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ТОРИОН-ППУ"
Заказчик
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
Похожие документы
Магнетронное распылительное устройство
0.910
РИД
Конструкторская документация для изготовления магнетрона
0.906
РИД
Устройство для распыления металла в вакууме
0.901
РИД
Создание оборудования и технологий высокоскоростного осаждения металлических покрытий с использованием магнетронных распылительных систем
0.899
ИКРБС
Установка вакуумного магнетронного напыления тонких пленок
0.899
РИД
Разработка методики и лабораторной технологии выполнения ионно-ассистируемых процессов магнетронного нанесения пленок, используемых в устройствах нано- и микросистемной техники
0.899
НИОКТР
Магнетронное распылительное устройство
0.899
РИД
Магнетронная распылительная установка
0.898
РИД
Разработка технологии и оборудования для получения наноструктурированных функциональных покрытий
0.897
ИКРБС
Магнетронное распылительное устройство
0.897
РИД