Способ создания проводящих покрытий заданной геометрии на поверхности тонких органических плёнок

Изобретение относится к специально предназначенным для изготовления проводящих покрытий, и может быть использовано для создания электрических устройств на базе тонких плёнок низкой плотности и с низкими температурами деградации. Техническим результатом изобретения является усовершенствование технологического процесса нанесения проводящих покрытий методом магнетронного распыления на поверхность тонких органических плёнок низкой плотности созданием условий, при которых интенсивность воздействия частиц распыляемого материала на поверхность образца оказывается недостаточной для его повреждения. Технический результат достигается за счет послойного нанесения проводящего покрытия в течение минимального времени, при котором достигается нанесение без повреждения поверхности образца, с выдержкой после нанесения каждого слоя проводящего покрытия.