Устройство для смены прецизионных масок в вакууме

Полезная модель относится к устройствам для смены прецизионных масок в вакууме, для проведения легирования полупроводниковых образцов в условиях вакуума. Техническая проблема, решаемая предлагаемой полезной моделью, заключается в создании устройства перемещения каретки для смены прецизионных масок в условиях вакуума и обеспечения точного позиционирования масок относительно образца. Устройство позволяет точно задавать начальное и конечное положение каретки с масками путем использования концевых выключателей, позволяющих реализовать также точное позиционирование маски относительно образца. Технический результат использования полезной модели заключается в том, что устройство позволяет осуществлять перемещение прецизионных масок перед образцом в условиях вакуума и точного их позиционирования относительно образца.