Устройство для получения плёнок

18.01.2017

Полезная модель устройства относится к области ионно-плазменного напыления многослойных плёнок в вакууме. За счёт применения блока управления вращением, состоящего из шаговых двигателей, датчиков положения и программного обеспечения, в автоматическом режиме обеспечивается однозначное и своевременное позиционирование подложки над мишенями, что позволяет сократить трудоёмкость получения плёнок, а также повысить воспроизводимость параметров напыляемых плёнок, обладающих, например, эластомагнеторезистивными свойствами.

ГРНТИ

59.31.71 Узлы, блоки, элементы, детали приборов для измерения механических величин

50.09.37 Датчики и преобразователи

29.19.13 Механические свойства твердых тел

Ключевые слова

ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЁНОК

ИОННО-ПЛАЗМЕННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ

Детали

НИОКТР

№ 115122450022

Тип РИД

Полезная модель

Ожидается

Исполнитель

Исполнители

Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина"

Заказчик

Министерство образования и науки Российской Федерации

Похожие документы

Устройство для получения пленок

0.946

РИД

Система прецизионного автоматического позиционирования подложек вакуумной установки магнетронного распыления

0.912

РИД

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО НАПЫЛЕНИЯ

0.907

РИД