Ячейка формирования изображения для безмасочной рентгеновской литографии

Ячейка формирования изображения для безмасочной рентгеновской литографии, содержащая рентгеновскую микролинзу и пространственный модулятор рентгеновского излучения. Причем в качестве пространственного модулятора рентгеновского излучения используется электростатический МЭМС коммутатор, выполненный из оптически непрозрачного материала со сквозным прямоугольным отверстием, конструкционно представляющий собой транспарентную динамическую маску. Кроме того, в качестве рентгеновской микролинзы используется составная рентгеновская микролинза, отдельные части которой соосно расположены друг за другом, материалом которых является алмаз, каждая из которых имеет киноформный профиль поверхности. Техническим результатом, на получение которого направлена полезная модель, является увеличение производительности литографа, в состав которого входит ячейка формирования изображения для безмасочной рентгеновской литографии, и уменьшение потерь энергии излучения в ячейке формирования изображения без потери разрешающей способности.