Матрица тонкопленочных прострельных мишеней для рентгеновских источников

26.01.2022

Настоящее изобретение относится к рентгеновским устройствам, применимым в качестве составной части источника рентгеновского излучения для задач рентгеновской нанолитографии. Изобретение предназначено для апробации концепции рентгеновской литографии на базе источника синхротронного излучения в диапазоне длин волн от 6.6 до 13.5 нм. Задача настоящего изобретения заключается в повышение линейной направленности рентгеновского излучения, генерируемого матрицей прострельных мишеней, за счет уменьшения электростатического прогиба матрицы прострельных мишеней.

ГРНТИ

47.13.07 Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники

Ключевые слова

прострельная мишень

рентгеновский источник

синхротрон

синхротронное излучение

тонкие пленки

анодный электрон

компенсационный электрод

электростатический прогиб

Детали

НИОКТР

№ 121111100094-1

Тип РИД

Изобретение

Сферы применения

Составная часть источника рентгеновского излучения для задач рентгеновской нанолитографии.

Ожидается

Исполнитель

Исполнители

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ"

Заказчик

МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Похожие документы

Разработка источника мягкого рентгеновского излучения на основе матрицы микрофокусных рентгеновских трубок для безмасочного литографа с разрешением лучше 10 нм

0.900

НИОКТР

Разработка и исследование перспективных материалов и наноструктур для технологии безмасочной рентгеновской нанолитографии, применимой к созданию новой компонентной базы микро- и наноэлектроники с использованием источника синхротронного излучения

0.890

ИКРБС

Разработка новой технологии создания источника мягкого рентгеновского излучения на основе матрицы микрофокусных рентгеновских трубок для безмасочного литографа

0.890

НИОКТР