Сегнетоэлектрические свойства наноструктурированных систем на основе цирконата-титаната свинца

Цель: изучение особенностей фазового и элементного состава тонких пленок ЦТС состава, соответствующего области МФГ, их микроструктуры и сегнетоэлектрических характеристик в зависимости от технологических параметров получения. Объект исследования: пленки ЦТС, полученные методом ВЧ-магнетронного распыления керамической мишени на платинированные подложки монокристаллического кремния и последующего отжига при температурах 530 - 650°С. Впервые отработана технология малого изменения (~ 2%) состава в области МФГ пленок ЦТС, осажденных методом ВЧ-магнетронного осаждения; с помощью метода дифракции отраженных электронов впервые определено влияние давления рабочего газа в процессе осаждения и температуры отжига пленок на соотношение моноклинной и тетрагональной фаз в пленках ЦТС. Показано, что нагрев тонкопленочного Pt/ЦТС/Pt-конденсатора на кремниевой подложке выше температуры Кюри приводит к реориентации вектора поляризации.