Исследование границ раздела и механизмов переноса в тонкопленочных сегнетоэлектрических структурах на основе цирконата-титаната свинца

Проведены экспериментальные и теоретические исследования влияния условий формирования на структуру и сегнетоэлектрические свойства пленок цирконата-титаната свинца (PZT), а также транспорта носителей заряда в пленках PZT. Методом ВЧ-магнетронного распыления получены пленки PZT с подслоем оксида свинца и без. Получена информация о микроструктуре и элементном составе приповерхностного слоя. Наличие подслоя из оксида свинца приводит к более плотному образованию центров кристаллизации перовскитовой фазы, а также формированию объемного заряда на нижнем интерфейсе. Предложена модель, описывающая образование внутренних полей в поликристаллических пленках PZT и изменение их состава. Объяснены вольт-амперные характеристики структур и закономерности, связанные с их изменением.