Разработка технологий и методов создания приемников инфракрасного излучения и других датчиков на основе многослойных микромеханических структур с применением принципов оптического и полевого детектирования перемещений

Объект исследования - технологии создания приемников инфракрасного излучения. Цель исследования - разработка технологий и методов создания приемников инфракрасного излучения и других датчиков на основе многослойных микромеханических структур с применением принципов оптического и полевого детектирования перемещений. Выполнен аналитический обзор по проблеме создания приёмников инфракрасного излучения и других датчиков на основе многослойных микромеханических структур, представлены результаты патентных исследований. Дано теоретическое описание основ построения приёмников инфракрасного излучения на основе многослойных микромеханических структур. Приведены результаты моделирования и расчётов параметров и характеристик преобразователей инфракрасного излучения на основе многослойных микромеханических структур при использовании различных материалов. Определены основные методы детектирования нано- и микроперемещений микромеханических структур. Разработаны конструкции многослойных микромеханических структур, используемых в качестве преобразователей инфракрасного излучения. Определены основные методы построения видимого изображения при конструировании приёмников инфракрасного излучения. Созданы технологии формирования многослойных микромеханических структур с использованием процессов химического осаждения диэлектрических плёнок из газовой фазы и нанесения металлических слоев. Разработаны методы создания матриц многослойных микромеханических структур.